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DOI (für Zitat) http://dx.doi.org/10.5445/KSP/1000027524
URN (für Zitat) http://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:0072-275246
Titel Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
Autor Stöffler, Dominik
Institution Physikalisches Institut (PHI)
Dokumenttyp Buch
Verlag KIT Scientific Publishing, Karlsruhe
Jahr 2012
Serie Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut ; 5
ISSN: 2191-9925
ISBN 978-3-86644-843-8
Hochschulschrift Dissertation
Fakultät für Physik (PHYSIK)
Physikalisches Institut (PHI)
Prüfungsdaten: 09.02.2012
Referent/Betreuer: Prof. H. von Löhneysen
Abstract In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.