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Volltext Fischer_Joachim.pdf1.pdf (61,5 MB)
URN (für Zitat) http://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:swb:90-287048
Titel Three-dimensional optical lithography beyond the diffraction limit
Autor Fischer, Joachim
Institution Institut für Angewandte Physik (APH)
Dokumenttyp Buch
Verlag Karlsruhe
Jahr 2012
Hochschulschrift Dissertation
Fakultät für Physik (PHYSIK)
Institut für Angewandte Physik (APH)
Prüfungsdaten: 27.04.2012
Referent/Betreuer: Prof. M. Wegener